[N7-WasD]

Geh mal in den Task-Manager und schau ob noch irgendwelche SteamApps oder gar Steam selbst schon läuft. Wenn das der Fall ist, Prozess beenden und Steam.exe starten.
Da in der Meldung erwähnt wird, dass eine Datei von einem anderem Programm benutzt wird, denke ich es liegt daran.
Hast du irgendwelche SideShow Apps die mit Steam arbeiten?
Hatte bei meine G15 z.B. ein Problem mit iTunes, die Fehlermeldung war fast identisch.