[ziesell]

Halbleiter-Industrie: Verbot von Ewigkeitschemikalien gefährdet EU-Chips-Act

Auf europäischer Ebene wird über ein Verbot perfluorierter Alkalysubstanzen diskutiert. Chiphersteller sehen sie hingegen als bislang alternativlos an.



Verbände der Halbleiterindustrie machen laut Heise gegen die Initiative der europäischen Chemikalienagentur (ECHA) mobil, die sich für ein Verbot von sogenannten Ewigkeitschemikalien einsetzt. Die Perverbindungen (PFC) und polyfluorierten Alkalysubstanzen (PFAS) lagern sich im Boden ab und bleiben dort über sehr lange Zeit erhalten.

Laut ECHA muss dagegen dringend etwas unternommen werden, da die Schäden sonst nur schwer rückgängig zu machen seien. Anders sieht das die Halbleiterindustrie, denn dort kommen diese Chemikalien in Ätz- und Reinigungsprozessen zum Einsatz und sind dort bislang laut vielen Herstellern alternativlos.

Im Rahmen eines Hintergrundgesprächs bestätigte uns TSMC im Oktober 2023, dass es für eine der bislang eingesetzten Stoffe noch keine Alternative gibt. An Lösungen werde zwar gearbeitet, wenn die Chemikalien aber kurzfristig nicht mehr verfügbar wären, sei die Produktion der meisten Halbleiterprodukte des Konzerns nicht mehr möglich.

Die Halbleiterindustrie fordert weitreichende Ausnahmen

Brisant ist dies neben TSMC auch für Intel, denn beide Konzerne planen in den nächsten Jahren die Eröffnung einer Halbleiterfabrik in Deutschland, und sind auch in anderen EU-Ländern aktiv. Statt eines Verbots fordert der Industrieverband Semi Europe, die Verwendung der Stoffe auf die wesentlichen Einsatzzwecke zu beschränken. Ein Verbot würde die EU als Standort entscheidend schwächen.

Christopher Christuk, Präsident von Transene, hält dagegen: "PFAS-Ersatz ist auch in sehr anspruchsvollen Umgebungen sinnvoll". Der Ausrüster für die Elektronikindustrie bietet PFAS-freie Materialien an. Die Auswirkungen für den Umsatz seien laut Christuk minimal.

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