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Maschinenbauer: "Chinas Halbleiterbranche liegt fünf Generationen zurück"

Fertigungstechnik aus China kann fehlende ausländische Maschinen nicht ersetzen. Der wichtigste Fertiger muss offenbar den modernsten Prozess zurückfahren.



Gerald Yin gilt als eine der Lichtgestalten der chinesischen Halbleiterbranche. Nach 20 Jahren bei US-Unternehmen, die Maschinen für die Halbleiterfertigung bauen, kehrte er in seine Heimat zurück. Dort gründete er das Unternehmen Advanced Micro-Fabrication Equipment (AMEC), das etwa Anlagen zum Plasmaätzen baut. Doch aktuell sieht er schwarz für Chinas Halbleiterbranche, wie die South China Morning Post (SCMP) berichtete.

Bei der jährlichen Konferenz der chinesischen Hersteller von Halbleiterfertigungstechnik sagte Yin, mit den strengen Exportbeschränkungen vom Oktober 2022 (g+) habe die US-Regierung ihre wahren Motive enthüllt: Sie wolle Chinas Halbleiterbranche mindestens fünf Generationen hinter den modernsten Fertigungstechnologien halten. Momentan gehe dieser Plan auf, so Yin, da China trotz großer Anstrengungen in den vergangenen Jahren noch immer 85 Prozent der Maschinen aus dem Ausland beziehen müsse.

Zudem, so ergänzte Li Jinxiang, stellvertretender Generalsekretär der Vereinigung der Halbleitermaschinenbauer, seien chinesische Maschinen oft schlechter als die der ausländischen Konkurrenz: So würden etwa die fast 140 Millionen US-Dollar teuren Belichtungsmaschinen von ASML durch zu langsame chinesische Technik ausgebremst. Konkret nannte Li Maschinen zur Beschichtung von Wafern mit Fotolack sowie deren Entwicklung. Beide Schritte kommen unmittelbar vor und nach der Belichtung.

14-nm-Prozess bei SMIC verschwunden

Ziel der US-Regierung, so Gerald Yin, sei es, Chinas Halbleiterbranche auf 28 nm als modernsten Prozess festzunageln. Wie das Fachmagazin Digitimes aus Taiwan beobachtete, könnte dieses Ziel erreicht sein.

Der Auftragsfertiger Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) präsentiert seit Mai 2023 seinen 14-nm-Prozess nicht mehr auf der Homepage. Auch bei den beiden letzten Präsentationen von Quartalszahlen wurde er laut Digitimes nicht mehr erwähnt. Dabei handelte es sich um den fortschrittlichsten Fertigungsprozess, den ein chinesisches Unternehmen zur Serienreife gebracht hatte.

Trotz der aktuell düsteren Aussichten für Chinas Halbleiterbranche gibt Yin sich kämpferisch: "Wir können das nicht akzeptieren", sagte er bei seiner ersten Äußerung zu den Handelsbeschränkungen, von denen sein Unternehmen selbst vier Monate betroffen war. Auch zeigte er sich zuversichtlich, dass China binnen weniger Jahre einen global wettbewerbsfähigen Maschinenbausektor für Halbleitertechnik entwickeln könne. Möglich machten dies die vielen Experten, die, wie er selbst, bei US-Unternehmen gearbeitet hätten und mittlerweile zurückgekehrt seien.

Yins Zuversicht zeigt sich auch auf der Homepage von AMEC: Neben Maschinen läuft dort ein Bild durch, das eine Gruppe auf dem Weg durch eine verschneite Berglandschaft zeigt – unter der Überschrift "Furchtlos, unaufhaltsam, mit voller Geschwindigkeit zum Gipfel".

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